稱為TOPAZ P1 / P2 / P3的新激光系統(tǒng)可以配備各種激光源,包括紅外,綠色或紫外波長范圍內(nèi)的納秒,皮秒和飛秒激光器,可以從基板側(cè)或薄膜側(cè)完成。該公司聲稱每天的吞吐量超過10000個(gè)基板,300條劃線的周期時(shí)間為10秒。
據(jù)說工作區(qū)域上升2400 mm x 1300 mm,支持2 mm至4 mm范圍內(nèi)的基板厚度。 “當(dāng)然,客戶可以在工作區(qū)域范圍內(nèi)要求特定尺寸,”4JET銷售總監(jiān)Benjamin Bopp告訴雜志。
該系統(tǒng)具有具有“單個(gè)路徑跟蹤”功能的激光子系統(tǒng)設(shè)計(jì),Bopp說這與其他功能有關(guān),例如單個(gè)自動(dòng)對(duì)焦以及每個(gè)處理光束的單獨(dú)功率平衡。
“例如,在其他概念中,只有一個(gè)傳感器用于多個(gè)激光束,這會(huì)導(dǎo)致設(shè)計(jì)不準(zhǔn)確。來自光源的激光束在加工頭中分成多個(gè)激光束。由于光束分裂在現(xiàn)實(shí)生活中從來都不是完美的,這會(huì)導(dǎo)致功率分布不均勻,因此劃線結(jié)果不均勻,“Bopp說。
每個(gè)激光單元都有自己的傳感器、功率電平設(shè)置和聚焦光學(xué)器件。根據(jù)Bopp的說法,這些功能導(dǎo)致更精確的測(cè)量和更多的測(cè)量點(diǎn),這反過來意味著更精確,一致的劃線,以及減少劃線之間的非生產(chǎn)區(qū)域的潛力,即所謂的盲區(qū)。
根據(jù)制造商的說法,系統(tǒng)設(shè)計(jì)還具有能夠使劃線更緊密地靠在一起而不會(huì)增加交叉風(fēng)險(xiǎn)的好處,從而減少焦點(diǎn)位置的不準(zhǔn)確性,并淡出線條,尤其是在模塊的邊緣。
新解決方案的功率要求為 400Vac、63 A,工廠車間占地面積為 7500 mm³ x 5650 mm³ x 2300 mm³,包括外圍設(shè)備。
據(jù)Bopp稱,第一批客戶正在中試生產(chǎn)線生產(chǎn)中使用新系統(tǒng),并訂購了幾個(gè)用于批量生產(chǎn)目的的系統(tǒng)。